Konferenz  /  26. Mai 2019  -  31. Mai 2019

8th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry#

Die ICSE8 findet vom 26. bis 31. Mai 2019 in Barcelona statt. Das Fraunhofer IOSB ist dort mit zwei Beiträgen vertreten.

 

»Abbildende Ellipsometrie an gekrümmten Oberflächen«
Das Fraunhofer IOSB stellt eine neue Sensorentwicklung vor, die eine polarimetrische Oberflächencharakterisierung und Schichtdickenmessung an Freiformflächen mit einem bildgebenden Verfahren ermöglicht. Die in der Polarisation des reflektierten Lichts enthaltene Information wird dabei optimal genutzt, um selbst bei Oberflächen mit komplexen optischen Eigenschaften die Oberflächenneigung zu bestimmen. Die anschließende Materialcharakterisierung erfolgt mit bekannten Verfahren der Ellipsometrie an ebenen Oberflächen, Poster und Präsentation von Christian Negara.

Die Poster Session findet am Dienstag, 28. Mai von 14.10-16.10 Uhr statt.

 

»Retroreflectiv Ellipsotopometry«
Die Präsentation von Chia-Wei Chen stellt ein neues Design eines kompakten Punkt-Ellipsometers vor, das die gleichzeitige Messung der Oberflächenwinkel und der optischen Eigenschaften erlaubt. Durch die Verwendung eines Retroreflektors werden die geometrischen Einschränkungen der Ellipsometrie bzgl. Lage und Orientierung von Proben überwunden. Das Design kann miniaturisiert werden, um ein kompaktes „Handellipsometer“ zu realisieren.

Die Poster Session findet am Donnerstag, 30. Mai von 14.00-16.00 Uhr statt.