Zwei etablierte Messprinzipien vereint
In der industriellen Fertigungstechnik sind im Rahmen der Qualitätsüberwachung häufig Höhenprofile von Werkstücken mit Auflösungen im µm-Bereich zu messen.
Der konfokale chromatische Triangulationssensor (CCT-Sensor engl.) wurde entwickelt, um eine drei dimensionale Oberflächentopographie zu vermessen. Ähnlich wie bei einer Zeilenkamera wird das Messobjekt gescannt und die Höheninformation auf direkte Weise gemessen. Bestandteil des Sensorkonzepts ist eine Zeilenkamera mit mehreren Farbkanälen, wodurch eine Zeilenfrequenz von bis zu 140 kHz möglich ist, bei gleichzeitig mehreren tausend Messpunkten pro Zeile. Der CCT-Sensor wurde für den direkten Einsatz in der Produktion konzipiert und zeichnet sich durch eine große Flexibilität aus. Die Oberfläche des Messobjekts kann ein perfekter Spiegel sein, aber auch eine voll diffuse, texturierte oder farbige Oberfläche besitzen. Die einzelnen Messpunkte liegen direkt nebeneinander und decken je nach Optikdesign einige µm ab.