Am Fraunhofer-Institut für Optronik, Systemtechnik und Bildauswertung IOSB, Karlsruhe, wurde ein Prüfsystem entwickelt, das die optischen Eigenschaften von Oberflächen und Beschichtungen inline in Fertigungsprozessen bestimmen kann. Im Durchlauf scannt das System die Oberfläche des Prüflings mit einem Laserstrahl. Für jeden Punkt der Oberfläche werden die Polarisationsänderungen des reflektierten Lichts gemessen und daraus die optischen Eigenschaften bestimmt. Damit wird eine vollständige Prüfung der Oberfläche auf kosmetische Fehler, Materialfehler oder Beschichtungsfehler ermöglicht. Im Gegensatz zu herkömmlichen ellipsometrischen Prüfsystemen mit separater Sende- und Empfangseinheit und fest eingestelltem Einfalls- und Ausfallswinkel, kann die Prüfung selbst bei starken Neigungsänderungen der Oberfläche erfolgen. Dies ermöglicht z.B. die Inspektion polierter und lackierter Metall- bzw. Kunststoffoberflächen sowie die Inspektion funktionaler Schichten aus den Bereichen Automobil, Mikroelektronik und Sanitär.